一、引言罗茨真空泵的结构如图1所示。在泵腔内,有2个"8"字形的转子相互垂直地安装在一对平行轴上,由传动比为1的一对齿轮带动做彼此反向的同步旋转运动。在转子之间,转子与泵壳内壁之间,保持有一定的间隙。由于罗茨泵是一种无内压缩的真空泵,通常压缩比很低,故中、高真空罗茨泵需要前级泵。因此,罗茨泵的极限真空除取决于泵本身结构和制造精度外,还取决于前级泵的极限真空度。工作原理如表所示。
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