大范围高精度的纳米位移测量技术及仪器是支撑高端装备制造技术提升的一项基础关键技术.目前超精密加工、微电子制造等技术的迅速发展对纳米位移测量技术提出了既要测量范围达到毫米量程又要同时达到纳米级测量精度的要求.
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