案例库 / 金属加工（冷加工） / 2016 年第 7 期

面向微结构阵列的超精密切削加工与测量关键技术研究

陈远流

浙江大学

来源期刊金属加工（冷加工）

年份 / 期2016 年第 7 期

页码第 80-80 页

案例编号jxgr-ljg201607030

入库时间2026-10-19 15:45

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摘要

随着航空、航天、电子制造、国防装备等重大需求的推动,超精密器件不断创造制造尺度、精度、效率的新极端,给金刚石超精密切削技术带来若干新的挑战:(1)虽然微结构表面的超精密切削技术得到了长足的发展,但随着加工尺寸的不断增大和加工复杂化程度的不断提高,金刚石刀具在长时间复杂的加工过程中不可避免出现磨损现象.如何克服金刚石刀具磨损的限制、实现大尺寸微结构阵列的加工?(2)虽然超精密切削技术能够获得整体完好的微结构,但在加工过程中,各种力学、化学、热等因素都会对加工过程产生影响,从而造成极小区域的表面微缺陷的产生.如何在大面积范围内对微缺陷进行快速识别,进而实施修复再制造以确保表面质量?(3)虽然针对金刚石刀具和微结构表面的超精密测量技术有较快的发展,然而大部分的测量技术都是基于独立的离线测量仪器模式,测量与制造过程结合不够紧密.因此,如何更好地面向超精密加工过程的需求,开展针对金刚石刀具和超精密加工件的在机原位测量?

关键词

微结构阵列超精密切削加工测量技术金刚石刀具加工过程切削技术微结构表面制造过程

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