光学散射测量技术由于具有测量速度快、成本低、非破坏和易于集成等优点,目前已经发展为批量化纳米制造中纳米结构几何参数在线测量的一种重要手段.传统光学散射测量技术基于光谱椭偏仪,只能改变波长和入射角2个测量条件且每次测量只能获得振幅比和相位差2个测量参数.
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