案例库 / 金属加工（冷加工） / 2013 年第 23 期

聚焦离子束加工技术及其应用

荣烈润

原中国航空精密机械研究所北京 100076

来源期刊金属加工（冷加工）

年份 / 期2013 年第 23 期

页码第 54-57 页

栏目分类机床自动化

案例编号jxgr-ljg201323023

入库时间2026-10-19 15:50

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摘要

1.聚焦离子束简介聚焦离子束(focused ion beam,FIB)与聚焦电子束从本质上讲是一样的,都是带电粒子经过电磁场聚焦形成细束.但聚焦电子束不同于聚焦离子束.区别在于它们的质量,最轻的离子为氢离子也是电子质量的1 840倍.离子束不但可以像电子束那样用来曝光,而且重质量的离子也可以直接将固体表面的原子溅射剥离,因此聚焦离子束更广泛地作为一种直接微纳米加工工具.

关键词

聚焦离子束加工技术电子束电子质量加工工具固体表面带电粒子磁场聚焦

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