3．水合抛光水合抛光是利用在工件界面上产生的水合反应的新型高效、超精密抛光方法。主要特点是不使用磨粒和加工液，而加工装置又与当前使用的抛光机类似，只是在水蒸气环境中进行加工。为此，要尽量避免使用能与工件产生固相反应的材料作抛光盘。
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