一、引言随着科学研究和国防尖端工业的发展,高新技术产品向功能集成化、超精密化和外形微型化方向发展,使产品零部件的尺寸日趋微小化。为此,于20世纪70年代微细加工和纳米加工技术应运而生,同时它们也促使了微型机械向系统化方向发展,并形成了有广阔发展前景的微机电系统（MEMS）。
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