激光干涉仪测量数控机床位置精度
沈阳机床股份有限公司,辽宁
摘要
何为数控机床位置精度,就是指一台机床的刀尖所能够达到控制系统程序设定的目标位置的能力,也是用户最为关注的技术指标及所能够满足加工精度的需求. 1.激光干涉仪测量原理激光器发射单一频率光束射入线性干涉镜,然后分成两道光束,一道光束(参考光束)射向连接分光镜的反射镜,而第二道透射光束(测量光束)则通过分光镜射入第二个反射镜,这两道光束再反射回到分光镜,重新汇聚之后返回激光器,其中会有一个探测器监控两道光束之间的干涉(见图1).
关键词
激光干涉仪
测量原理
数控机床
测量光束
分光镜
激光器
反射镜
位置精度