伴随着现代尖端科技和国防工业的不断发展,新结构、新材料和复杂形状的精密零件被大量采用,尤其是需要高质量超精密的半导体晶片、陶瓷、蓝宝石和石英玻璃等硬脆性材料的产品.由于硬脆性材料的韧性和强度与金属材料相比有巨大的差异,所以,硬脆性材料的超精密加工至今仍然是一个亟待解决的技术难题.
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