案例库 / 金属加工（冷加工） / 2007 年第 3 期

微机电系统与微细加工技术

侯亚丽, 李长河, 蔡光起

青岛理工大学,山东; 东北大学,沈阳

来源期刊金属加工（冷加工）

年份 / 期2007 年第 3 期

页码第 65-67 页

栏目分类机电一体化

案例编号jxgr-ljg200703035

入库时间2026-10-19 15:58

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摘要

微系统是微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路甚至接口、通信和电源于一体的微型器件或系统.

关键词

微机电系统微细加工技术

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