1.前言从20世纪50～70年代,栅式测量系统从感应同步器发展到光栅、磁栅、容栅和球栅,这5种测量系统都是将1个栅距周期内的绝对式测量和周期外的增量式测量结合起来,它们有各自的长处,相互补充,在竞争中取得了一定的发展.
若上方预览无法显示，请新窗口打开或下载 PDF。