案例库 / 金属加工（热加工） / 2005 年第 7 期

离子束多层膜制备技术和应用(下)

张通和, 吴瑜光

北京师范大学射线束材料工程开放实验室

来源期刊金属加工（热加工）

年份 / 期2005 年第 7 期

页码第 57-59 页

栏目分类热处理

案例编号jxgr-rjg200507024

入库时间2026-10-19 15:59

全文 220 KB

摘要

4.多层DLC膜沉积特性由于类金刚石膜具有很高的硬度、化学惰性,特别高的热导率和电阻率,因此这种膜在工业上已经有着许多的应用,比如机械工业抗磨损,电子工业中的组装、钝化和散热等.这种膜属于脆性膜,具有很高的压缩应力,高应力膜在使用中往往引起薄膜弯曲,产生应变,薄膜与基体粘合力降低,从而导致薄膜失效.为了增加薄膜与基体的粘合力,在DLC膜与基体之间沉积一层缓冲层,可以明显地增强薄膜与基体的粘合力.最优的增强薄膜与基体粘合力缓冲层的次序为Ti、TiN、TiCN、TiC和DLC.通过改变反应气体流量、基体偏压和电流密度,可以改变薄膜的成分,从而得到平滑的界苗.

关键词

离子束多层膜制备技术薄膜失效粘合力基体偏压缓冲层机械工业

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