案例库 / 金属加工（冷加工） / 2005 年第 4 期

MEMS技术的发展现状及应用

张杨林

湖南省郴州职业技术学院

来源期刊金属加工（冷加工）

年份 / 期2005 年第 4 期

页码第 66-68 页

栏目分类机电一体化

案例编号jxgr-ljg200504040

入库时间2026-10-19 15:59

全文 208 KB

摘要

微电子机械系统(MEMS)技术是微电子和微机械技术上发展起来的一门多学科叉技术.

关键词

微机械技术发展现状微电子机械系统学科

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