随着众多消费产品向"轻、薄、短、小"方向的发展,微细加工技术日益成为新产品研发中的最重要组成之一,基于微细加工技术的微型机电系统(MEMS)已经成为众多研究机构和企业竞相投资的热门领域之一,其产品遍布工业、农业、医疗、通讯、航天、国防等领域.
若上方预览无法显示，请新窗口打开或下载 PDF。