真空热处理是在20世纪三四十年代发展起来的.真空热处理设备从最简单的单室热壁式真空退火炉发展到双室冷壁式真空淬火炉、多室连续式真空淬火炉、真空渗碳炉、离子渗氮炉及真空正压淬火炉等.
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