300mm晶圆厂空中储存系统的设计及应用

针对晶圆厂OHB 系统的建设，通过调研现有OHB 系统，总结并优化该系统的几个重点要素，即硬件结构、安装形式和AMHS 运输轨道的匹配，以及和AMHS 运输车的位置匹配，形成OHB 系统的设计思路和方法。参考此方法设计的OHB 系统，能充分利用洁净室上部空间，配合AMHS 运输轨道和运输车，满足晶圆厂在制品储存的需要，并且不占用洁净室地面面积。该设计思路和方法可以作为晶圆厂OHB 系统规划设计的参考。